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用于MEMS无粘连释放工艺

2016-08-30 15:35:12 click: 668


产品系列

晶圆尺寸

产品描述

LVHF-200

≤ 8

氟化氢气相腐蚀机,主要用于MEMS器件无粘连释放和其他气相的方式腐蚀各种氧化硅、氮化硅、体硅、多晶/非晶硅等材料;