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磁性材料平台刻蚀设备

2016-08-30 15:33:38 click: 528



产品系列

晶圆尺寸

产品描述

LMEC-200

≤ 8

平台刻蚀机,可以在不中断真空的环境下,完成刻蚀和镀膜,可用于刻蚀磁性材料等非挥发性易氧化金属