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LED工艺设备

2016-08-30 15:31:57 click: 519

产品系列

晶圆尺寸

产品描述

LICP-200Cl

≤ 8 寸

感应耦合等离子( ICP)体刻蚀机,可用氯基、氟基气体,刻蚀蓝宝石、氮化镓、砷化镓、硅、氮化硅、氧化硅等材料以及各种金属

LHQ-6A

≤ 6 寸

嵌套式腔室PECVD机,高纯氮化硅、氧化硅、非晶硅等薄膜

LHQ-200A

≤ 8 寸

单腔室PECVD机,淀积大面积氮化硅、氧化硅、非晶硅等薄膜

LHQ-200i

≤ 8 寸

感应耦合等离子PECVD机,低温淀积低损伤氮化硅、氧化硅、非晶硅等薄膜