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集成电路清洗设备

2016-08-30 15:29:32 click: 730


产品系列

晶圆尺寸

产品描述

LTANK-200

≤ 8

单槽槽式湿法清洗机,可以做DI-O3/dHF/SC1/dHCl/IPA干燥等类似但有效的RCA清洗,优点是站地面积小

LSPIN-200

≤ 8

单片(半)自动湿法清洗、腐蚀机,可以做定制化学液的循环使用及晶圆的定面清洗、腐蚀