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晶圆定制服务

晶圆定制服务: 汶仪器有限公司的晶圆定制平台可以提供专业的晶圆测试及加工服务,服务的晶圆从8寸整片到部分晶圆碎片

l  晶圆测试:

1. 椭片仪(Spectroscopic Ellipsometry: 薄膜膜厚、n值(折射系数)、k值(消光系数)等检测及相关服务;

     薄膜纳米孔径分析仪(porosimetry: 薄膜孔径度、孔径测试服务;

2.  四探针(Four Point Probe: 导电膜层的方块电阻(sheet resistance)测试服务;

l  晶圆加工:

1.  深硅刻蚀:

2.  化合物半导体刻蚀:

3.  非挥发性金属薄膜刻蚀(含侧壁介质保护)

4.  各种薄膜生长:

5.  MEMS器件释放:LVPD

单晶硅湿法各向异性腐蚀