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“亚洲材料大会2016”先进微电子与光电子分会成功举办

2016-11-09 13:33:17 click: 652

中国材料学会(CMRS2016年年会与世界材料学会国际联盟(IUMRS)的亚洲会议合并,于2016102124日在青岛国际会展中心成功举行了联合大会。会议盛况空前。除了大会报告,全会还分为27个分会场,参会人员2300多人。其中,R会场为光电子-微电子分会。今年的光电子-微电子分会邀请到了近十位业界重量级的嘉宾做Keynote报告,包括香港中文大学的汪正平教授,台积电的VP Dr. Douglas Yu博士,美国工程院院士Philip WongProf. Supratik Guha博士。鲁汶仪器的CTO Mikhail Baklanov博士应邀做了题为“Challenges in the implementation of low-k dielectrics in advanced ULSI interconnects”的Keynote 报告。另外,鲁汶仪器的Kanstantin 在会议上也作了报告,重点介绍了江苏鲁汶仪器的发展情况以及产品开发情况。报告系统地报道了鲁汶仪器近期在纳米孔径仪方面的科研成果,受到了与会学者的广泛关注。该设备为多孔薄膜材料空隙率的在线检测提供了独特的解决方案,成为集成电路后端互连工艺low-k材料k值测量的重要手段。

鲁汶仪器的CTO Mikhail R. Baklanov 为大家做题为“Challenges in the implementation of low-k dielectrics in advanced ULSI interconnects”主题演讲


                                         鲁汶仪器的Kanstantin 在会议上报告发表演讲