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我公司隆重举办诺奖得主工作室揭牌暨- 国内首台套磁存储刻蚀机和纳米材料孔径仪下线交付仪式

2016-10-21 08:45:01 click: 1113

1017日,在江苏省邳州市我公司隆重举办诺奖得主工作室揭牌暨国内首台套磁存储刻蚀机和纳米材料孔径仪下线交付仪式。我公司首席技术顾问——诺贝尔物理学奖获得者艾尔伯费尔教授,省人大常委会常委、省人民政府参事、省人才创新创业促进会会长赵永贤,徐州市委常委、组织部长、统战部长徐大勇、邳州市委书记陈静、代市长唐健、市四套班子领导、复旦大学微电子学院院长张卫等数十名国内外业界专家等出席仪式。

艾尔伯费尔教授是世界著名物理学家,法国科学院院士,诺贝尔物理学奖得主,在凝聚态物理学和自旋电子学领域具有深厚的学术造诣和卓越的学术声誉,。此次费尔教授加入我公司担任首席科学家,以鲁汶仪器作为诺贝尔奖获得者工作室的运营主体,建立自旋电子器件工艺研究中心,致力于磁存储研发,推动其进入大规模生产。

仪式现场,费尔教授说,这是一个非常高端的项目,是我专门研究的领域,所以我很想参与,把这个项目做成做好。”



仪式上,两个国内首台套的下线吸引了诸多海内外专家的目光,多名千人计划专家,国内外学者齐聚邳州,共同见证设备的交付,同时开展业务交流与互动,推动半导体产业发展。


薄膜纳米孔径分析仪是专业用于半导体材料研发和检测的实验设备,它的诞生对于集成电路发展同样意义重大。

千人计划专家、中科院微电子所大规模集成电路先导工艺研发中心主任赵超说纳米材料孔径仪测量是low-k材料的孔隙率,通过测孔隙率可以测low-k材料的k值,这在国内是没有的,在世界上有大型的工业设备,但是像这样小型的适合于研究单位采用的这还是全球首台。薄膜纳米孔径分析仪虽然体积小,在孔隙率的测量上效率却非常高,非常适合实验室和高校测量和研究。在算法上、在原理上都是有自己的特点,设备要便宜不是十倍八倍。凡是做后端low-k材料的企业,应该都可以用这台检测设备。

复旦大学微电子学院院长张卫这样评价:磁存储是未来非常有前途的存储器,它的制备是需要一些特殊工艺,这个设备是针对磁存储的特点开发成功的一台设备,标志鲁汶仪器在高端装备的布局迈出了非常重要一步。


活动最后, 鲁汶仪器董事长“千人计划”专家许开东将全球首台薄膜纳米孔径分析仪交付给客户——北方工业大学微电子系主任张静。




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